中微公司获得发明专利授权：“加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法”
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2025月09月09日
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法”，专利申请号为CN202111039519.7，授权日为2025年9月9日。
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专利摘要：本发明提供一种加热装置，用于CVD设备，包含：布置在反应室上方的上灯模块和/或反应室下方的下灯模块；所述上灯模块、下灯模块包含由多个加热灯形成的上灯阵列、下灯阵列；通过所述上灯阵列、下灯阵列加热所述基片承载台以及基片；所述加热灯包括一管状灯体和位于管状灯体两端的电极端，所述上灯模块、下灯模块中的电极端分别朝上、下进行电连接；所述管状灯体内设有沿管状灯体延伸的灯丝；所述上灯阵列、下灯阵列可以分区控制加热功率本发明还包含一种CVD设备及一种半导体工艺处理的方法。本发明能够提高加热装置的热能利用率，且能够精准控制各加热灯的加热功率，防止相邻加热灯之间出现冷点，有效保证基片表面均温。
今年以来中微公司新获得专利授权116个，较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1533条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。
数据来源：天眼查APP
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