中微公司获得发明专利授权:“加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法”

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2025月09月09日

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项发明专利授权,专利名为“加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法”,专利申请号为CN202111039519.7,授权日为2025年9月9日。

中微公司获得发明专利授权:“加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法”
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专利摘要:本发明提供一种加热装置,用于CVD设备,包含:布置在反应室上方的上灯模块和/或反应室下方的下灯模块;所述上灯模块、下灯模块包含由多个加热灯形成的上灯阵列、下灯阵列;通过所述上灯阵列、下灯阵列加热所述基片承载台以及基片;所述加热灯包括一管状灯体和位于管状灯体两端的电极端,所述上灯模块、下灯模块中的电极端分别朝上、下进行电连接;所述管状灯体内设有沿管状灯体延伸的灯丝;所述上灯阵列、下灯阵列可以分区控制加热功率本发明还包含一种CVD设备及一种半导体工艺处理的方法。本发明能够提高加热装置的热能利用率,且能够精准控制各加热灯的加热功率,防止相邻加热灯之间出现冷点,有效保证基片表面均温。

今年以来中微公司新获得专利授权116个,较去年同期增加了27.47%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元,同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析,中微半导体设备(上海)股份有限公司共对外投资了29家企业,参与招投标项目67次;财产线索方面有商标信息98条,专利信息1533条,著作权信息13条;此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源:天眼查APP

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交通工程咨询行业市场现状及未来趋势展望2024 2024年5月11日 来源:互联网 903 56 交通工程咨询是一个涵盖了交通工程设计咨询、交通工程检测咨询、交通工程监理咨询以及其他技术咨询等多个方面的行业。它的业务范围广泛,涉及到交通建设工程的规划、勘察设计、建设及建成后使用运营的全过程。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 交通重大工程具有单体投资多、社会影响大、带动作用强的特点,是扩内需、稳增长、促就业的重要领域之一。2023年,全国交通固定资产投资完成了3.9万亿元,加快建设国家综合立体交通网主骨架,不断完善交通基础设施体系,统筹推进102项国家重大工程涉交通项目,实施综合交通枢纽补链强链,推动“四好农村路”高质量发展。全年新开通高铁2,776公里,新建改扩建高速公路7,000公里,新增和改善航道1,000公里,运输航空机场达到259座,全国建制村全部通邮。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 今年一季度,全国完成交通固定资产投资7125亿元,投资规模仍保持高位运行,为推动我国经济回升向好提供了坚实的保障。 投资的稳定增长,加快了各地交通基础设施的建设步伐。一方面将为未来经济发展提供良好的交通保障;另一方面也有力带动了上下游产业发展,拉动社会投资,带动消费增长,改善社会预期。 根据中研普华产业研究院发布的显示: 今年以来,交通运输部积极推动重大项目前期工作,部署2024年扩大交通运输有效投资各项任务。通过印发系列政策文件,指导各地加强项目储备、提高前期工作质量、加快重大项目建设,形成“在建一批、新开一批、储备一批”的良性循环。 交通工程咨询是一个涵盖了交通工程设计咨询、交通工程检测咨询、交通工程监理咨询以及其他技术咨询等多个方面的行业。它的业务范围广泛,涉及到交通建设工程的规划、勘察设计、建设及建成后使用运营的全过程。 交通工程咨询行业的发展受到国家宏观政策的影响较大。当政府规划发生变化时,会给行业的发展带来不确定性。但总体上,政府对于基础设施建设和交通发展的重视,为交通工程咨询行业提供了广阔的市场空间。 交通规划设计涉及国家交通根基,从业企业一般都是轻资产、重技术、高附加值的服务类企业。2023年12月,中央经济工作会议作出部署,要把推进新型城镇化和乡村全面振兴有机结合起来,促进各类要素双向流动,推动以县城为重要载体的新型城镇化建设,形成城乡融合发展新格局。 国务院在 2024政府工作报告中指出,要推动城乡融合和区域协调发展,大力优化经济布局。深入实施区域协调发展战略、区域重大战略、主体功能区战略,把推进新型城镇化和乡村全面振兴有机结合起来,加快构建优势互补、高质量发展的区域经济格局。积极推进新型城镇化。 随着城市化进程的加速和交通基础设施的不断完善,交通工程咨询市场的需求量不断增长。尤其是在城市交通、轨道交通、公路、桥梁等领域,对交通工程咨询的需求更加迫切。然而,交通工程咨询行业是知识密集型和技术密集型行业,需要具备高素质、专业化的人才。目前行业内的人才储备仍然存在一定的缺口,这在一定程度上制约了行业的发展。 我国交通工程咨询企业依托丰富的国内业绩和实施经验,以及一定的成本、工期和质量优势,面临着诸多海外发展机遇。从长远来看,随着全球经济的持续发展和人口的不断增长,对于交通基础设施的需求将持续增加,这将为交通工程咨询行业提供广阔的市场空间和发展机遇。同时,随着环保和可持续发展的理念日益深入人心,未来的交通工程咨询行业将更加注重绿色、智能和可持续的设计理念。 在激烈的市场竞争中,企业及投资者能否做出适时有效的市场决策是制胜的关键。报告准确把握行业未被满足的市场需求和趋势,有效规避行业投资风险,更有效率地巩固或者拓展相应的战略性目标市场,牢牢把握行业竞争的主动权。 更多行业详情请点击中研普华产业研究院发布的。 关注公众号 免费获取更多报告节选 免费咨询行业专家 相关深度报告REPORTS 11011 2807 3607 4407 5303 6107 推荐阅读 通气鼻贴是一种由山西健康动力医疗科技有限公司生产的第二类医疗器械,主要用于改善鼻腔通气情况。它由热熔胶、弹性物... 液压阀行业市场规模近年来持续增长,尤其是在中国,市场规模已达数十亿美元,并且增长速度较快...