晶盛机电获得发明专利授权：“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”

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2025月05月10日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”，专利申请号为CN202510171529.8，授权日为2025年5月9日。

晶盛机电获得发明专利授权：“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”
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专利摘要：本申请涉及一种石英坩埚的熔融设备参数调整方法,涉及半导体材料制备领域。该方法包括：获取石英坩埚多批次熔制过程中的观测过程参数，多过程观测特征矩阵；采用密度估计方法，确定多过程观测特征矩阵的概率密度分布，从B个批次中筛选出S个有效批次；根据有效批次的观测过程参数确定第一特征矩阵，根据有效批次生产的石英坩埚质量参数确定质量矩阵，确定第一相关系数矩阵；基于第一相关系数矩阵中各个系数值，从候选参数中确定熔融设备的目标参数，确定目标时刻；将目标时刻下的目标参数输入预训练的质量预测模型，得到待熔制的石英坩埚的质量预测结果，调整熔融设备的参数。采用本方法能够提高石英坩埚熔融设备的参数调整的精确性和效率。

晶盛机电获得发明专利授权：“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”
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今年以来晶盛机电新获得专利授权53个，较去年同期减少了19.7%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。

数据来源：天眼查APP

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