晶盛机电获得发明专利授权:“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”

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2025月05月10日

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”,专利申请号为CN202510171529.8,授权日为2025年5月9日。

晶盛机电获得发明专利授权:“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”
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专利摘要:本申请涉及一种石英坩埚的熔融设备参数调整方法,涉及半导体材料制备领域。该方法包括:获取石英坩埚多批次熔制过程中的观测过程参数,多过程观测特征矩阵;采用密度估计方法,确定多过程观测特征矩阵的概率密度分布,从B个批次中筛选出S个有效批次;根据有效批次的观测过程参数确定第一特征矩阵,根据有效批次生产的石英坩埚质量参数确定质量矩阵,确定第一相关系数矩阵;基于第一相关系数矩阵中各个系数值,从候选参数中确定熔融设备的目标参数,确定目标时刻;将目标时刻下的目标参数输入预训练的质量预测模型,得到待熔制的石英坩埚的质量预测结果,调整熔融设备的参数。采用本方法能够提高石英坩埚熔融设备的参数调整的精确性和效率。

晶盛机电获得发明专利授权:“石英坩埚的熔融设备参数调整方法”
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今年以来晶盛机电新获得专利授权53个,较去年同期减少了19.7%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了11.19亿元,同比减2.29%。

数据来源:天眼查APP

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