至纯科技获得发明专利授权：“一种集成高温磷酸与硫酸的晶圆清洗蚀刻方法”

68324
2025月10月04日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种集成高温磷酸与硫酸的晶圆清洗蚀刻方法”，专利申请号为CN202111647213.X，授权日为2025年10月3日。

至纯科技获得发明专利授权：“一种集成高温磷酸与硫酸的晶圆清洗蚀刻方法”
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专利摘要：本发明提供一种集成高温磷酸与硫酸的晶圆清洗蚀刻方法，包括：步骤S1，控制启动第一传送带将未处理晶圆输送至指定位置并控制暂停第一传送带，以及控制第一机器人本体带动第一机械臂末端的一第一吸附组件吸附未处理晶圆；步骤S2，控制第一机器人本体将未处理晶圆放置到清洗装置内的放置台中，并控制清洗装置依次喷淋高温磷酸和高温硫酸进行清洗蚀刻以得到已处理晶圆；步骤S3，控制第二机器人本体带动第二机械臂末端的第二吸附组件吸附已处理晶圆；步骤S4，控制第二机器人本体将已处理晶圆放置到第二传送带上。有益效果是本方法集成了高温磷酸与高温硫酸，通过高温磷酸进行清洗，通过高温硫酸进行蚀刻，能够有效增强清洗蚀刻效果。

至纯科技获得发明专利授权：“一种集成高温磷酸与硫酸的晶圆清洗蚀刻方法”
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今年以来至纯科技新获得专利授权43个，较去年同期增加了126.32%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增17.59%。

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通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息321条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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