微导纳米公布国际专利申请：“半导体设备的清洁方法”

小微

66692

2026月02月07日

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）公布了一项国际专利申请，专利名为“半导体设备的清洁方法”，专利申请号为PCT/CN2025/110113，国际公布日为2026年2月5日。

微导纳米公布国际专利申请：“半导体设备的清洁方法”
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专利详情如下：

微导纳米公布国际专利申请：“半导体设备的清洁方法”
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图片来源：世界知识产权组织（WIPO）

今年以来微导纳米已公布的国际专利申请2个，较去年同期减少了50%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

数据来源：企查查

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