微导纳米公布国际专利申请:“半导体设备的清洁方法”

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2026月02月07日

证券之星消息,根据企查查数据显示微导纳米(688147)公布了一项国际专利申请,专利名为“半导体设备的清洁方法”,专利申请号为PCT/CN2025/110113,国际公布日为2026年2月5日。

微导纳米公布国际专利申请:“半导体设备的清洁方法”
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专利详情如下:

微导纳米公布国际专利申请:“半导体设备的清洁方法”
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图片来源:世界知识产权组织(WIPO)

今年以来微导纳米已公布的国际专利申请2个,较去年同期减少了50%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元,同比增9.88%。

数据来源:企查查

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