晶合集成获得发明专利授权：“晶圆的刻蚀方法”

58004
2026月02月28日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆的刻蚀方法”，专利申请号为CN202511505955.7，授权日为2026年2月27日。

晶合集成获得发明专利授权：“晶圆的刻蚀方法”
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专利摘要：本申请涉及一种晶圆的刻蚀方法，包括：提供晶圆，所述晶圆包括衬底、依次层叠形成于所述衬底一侧的外延层、第一氧化层、第一硬掩膜层，及贯穿所述第一氧化层和所述第一硬掩膜层并延伸至外延层内的浅沟槽隔离结构；于所述衬底远离所述外延层的一侧形成多孔介质层；对所述晶圆进行第一次湿法刻蚀处理，以去除所述第一硬掩膜层；对所述晶圆进行第二次湿法刻蚀处理，以去除所述多孔介质层。本申请利用多孔介质层对硅离子的捕捉能力，使刻蚀剂中游离的硅离子在多孔介质层的表面结晶并析出，以提升晶圆内设置有浅沟槽隔离结构一侧表面的洁净度。

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今年以来晶合集成新获得专利授权92个，较去年同期增加了196.77%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元，同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目637次；财产线索方面有商标信息75条，专利信息1657条，著作权信息9条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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人保车险,拥有“如意行”驾乘险，出行更顺畅！_2024年低空经济行业深度分析及投资战略咨询 河北首条无人机物流运输航线 在雄安试航成功

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2024年低空经济行业深度分析及投资战略咨询 河北首条无人机物流运输航线 在雄安试航成功 2024年5月9日 来源：中研普华集团、央视财经、中研网 825 50 近日，河北省在雄安新区成功试航了首条低空无人机物流运输航线，标志着该省在无人机物流运输领域迈出了重要一步。这条航线不仅是河北省内首条正式获得有关主管部门批准的试航航线，也是推动物流行业创新和发展的重要尝试。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 河北省首条低空无人机物流运输航线在雄安新区成功试航 近日，河北省在雄安新区成功试航了首条低空无人机物流运输航线，标志着该省在无人机物流运输领域迈出了重要一步。这条航线不仅是河北省内首条正式获得有关主管部门批准的试航航线，也是推动物流行业创新和发展的重要尝试。 该低空无人机物流运输航线利用先进的无人机飞行控制平台，实现了远程飞行作业的精准控制与自动避障功能。在飞行过程中，无人机能够实时传输飞行状态，并通过可视化管控系统进行有效监控，确保飞行过程的安全可靠。据悉，这条航线的单程飞行距离约为12.5公里，为未来的物流运输提供了全新的可能性。 此次试航的成功，不仅展示了无人机物流运输的潜力和优势，也为河北省乃至全国的物流行业带来了新的发展机遇。无人机物流运输具有速度快、效率高、成本低等优点，特别是在城市交通拥堵和偏远地区物流配送等方面，具有得天独厚的优势。通过无人机进行物流运输，可以大大缩短配送时间，提高物流效率，降低物流成本，为消费者带来更加便捷、高效的物流服务。 此外，随着无人机技术的不断进步和应用领域的不断拓展，无人机物流运输的应用场景也将越来越广泛。未来，无人机物流运输有望在城市配送、医疗急救、环境监测等多个领域发挥重要作用，为社会的发展和进步贡献更多的力量。 对于雄安新区而言，此次试航的成功也为其未来的发展带来了新的机遇和挑战。作为国家级新区，雄安新区在推动科技创新和产业升级方面具有得天独厚的优势。未来，雄安新区可以进一步探索无人机物流运输的应用场景和商业模式，推动无人机物流运输产业的快速发展，为新区的经济社会发展注入新的动力。 据中研普华产业院研究报告数据显示 深圳低空物流运输的具体应用场景主要涵盖了吨级eVTOL和物流无人机两大领域。吨级eVTOL主要用于替代大型空运货机，减少转运流程，实现跨城半日达的高效物流服务。而物流无人机则主要配合无人机接驳柜，完成最后1KM的配送任务，相比传统的快递员配送方式，具有显著的成本优势。 在深圳，低空物流的应用已经进一步拓展到常态化、商业化运营的新场景。例如，近日成功推出的“无人机跨城急送”和“无人机同城即时送”两款无人机物流服务产品，覆盖了深圳及周边地区的寄件点和收件点。 消费者可以通过手机小程序下单，享受无人机提供的快速、便捷的物流服务。这种服务方式不仅大大缩短了配送时间，提高了整体时效，而且也为消费者提供了更加灵活和个性化的物流选择。 此外，低空物流在深圳的应用还拓展到了其他领域。例如，通过无人机进行生鲜、急件等物品的快速配送，满足了消费者对高效、便捷物流服务的需求。同时，随着低空物流航线的不断规划和优化，未来还有望实现更广泛区域内的低空物流运输服务，为深圳及周边地区的经济发展提供有力支持。 总的来说，深圳低空物流运输的应用场景日益丰富，不仅提高了物流效率，降低了成本，还为消费者带来了更加便捷、高效的物流服务体验。随着技术的不断进步和应用的深入拓展，低空物流有望成为深圳乃至全国物流行业的重要发展方向之一。 《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》提出，以广州、深圳、珠海为依托，突破无人机专用芯片、飞控系统、动力系统、传感器等关键技术，做大做强无人机产业，推动在物流、农业、测绘、电力巡检、安全巡逻、应急救援等主要行业领域的创新应用。 在《上海打造未来产业创新高地发展壮大未来产业集群行动方案》中，“低空经济”是一大亮点，提出突破倾转旋翼、复合翼、智能飞行等技术，研制载人电动垂直起降飞行器，探索空中交通新模式。安徽芜湖发布《芜湖市低空经济高质量发展行动方案(2023—2025年)》，提出到2025年低空经济相关企业数量突破300家，低空产业产值达到500亿元…… 近年来，深圳陆续发布《深圳市低空经济产业创新发展实施方案(2022-2025年)》《深圳经济特区低空经济产业促进条例》等多份产业规划和地方法规，从政策、法律等多方面为深圳先行先试制定民用无人机管理规则和运行标准、推动低空经济发展提供有力支撑。 2023年底，深圳市七部门还联合印发《深圳市支持低空经济高质量发展的若干措施》，围绕引培低空经济链上企业、鼓励技术创新、扩大低空飞行应用场景、完善产业配套...

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