中微公司获得发明专利授权：“一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法”

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2025月05月10日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法”，专利申请号为CN202110891241.X，授权日为2025年5月9日。

中微公司获得发明专利授权：“一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法”
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专利摘要：本发明公开了一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法，该托盘结构包含：主承载盘，其上表面包括多个向下凹陷部；多个轴承组件，分别设置于所述凹陷部内；多个行星盘，支撑于所述轴承组件上，所述行星盘用于承载待处理晶圆；驱动气体通道，设于主承载盘内，用于提供驱动气体以驱动所述行星盘沿轴承组件转动；清洁气体通道，设于主承载盘内，用于提供清洁气体到所述凹陷部以清洁凹陷部的内部。其优点是：其将主承载盘、行星盘、轴承组件、驱动气体通道和清洁气体通道等相结合，直接或间接地实现了行星盘的自转和公转，有助于提高晶圆的薄膜沉积均匀性，且清洁气体通道保证行星盘底部的环境清洁，避免行星盘和轴承组件转动时产生颗粒污染物污染腔内环境。

中微公司获得发明专利授权：“一种托盘结构、薄膜沉积装置和方法”
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今年以来中微公司新获得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

数据来源：天眼查APP

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2024年中国门禁系统行业的产业链上下游结构及市场发展现状 2024年4月30日 来源：互联网 218 6 门禁系统(Access Control System，简称ACS)是一种安全管理系统，主要用于对“门”的禁止权限进行管理和控制。这里的“门”在广义上理解，包括各种能够通行的通道，如人通行的门、车辆通行的门等。门禁系统的发展超越了单纯的门道及钥匙管理，已经逐渐发展成为一套完图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 门禁系统(Access Control System，简称ACS)是一种安全管理系统，主要用于对“门”的禁止权限进行管理和控制。这里的“门”在广义上理解，包括各种能够通行的通道，如人通行的门、车辆通行的门等。门禁系统的发展超越了单纯的门道及钥匙管理，已经逐渐发展成为一套完整的出入管理系统。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 门禁系统的主要功能包括门户出入控制、实时监控、保安防盗等，旨在方便内部出入，杜绝外来人员随意进出，既方便了内部管理，又增强了内部的安保。门禁系统具有多种系统特点，如具有强大的统计和报表功能，支持多客户端管理，能自动发出报警信号并记录非常状况的时间、门号、状态等详细信息，以及可通过管理软件设置、修改持卡人的出入权限等。 门禁系统按照识别方式的不同，可以分为多种类型，如密码门禁系统、刷卡门禁系统、生物识别门禁系统和自动门禁系统等。密码门禁系统通过输入正确的密码来控制门的开关，刷卡门禁系统通过刷卡来控制门的开关，生物识别门禁系统则通过生物特征识别技术来控制门的开关，自动门禁系统则采用自动感应技术来控制门的开关。 门禁系统的应用场景非常广泛，包括社区管理、政府办公、教育和医疗、通信基站等领域。在社区管理中，门禁系统可以有效防止闲杂人进入社区，对社区进行封闭式管理，提高物业档次;在政府办公中，门禁系统能有效规范办公秩序，防止违法人员影响政府办公部门，保护领导人身安全;在教育和医疗中，门禁系统可以防止罪犯进入校园和医院敏感区域，确保学生和患者的安全;在通信基站中，门禁系统可以确保无人值守区域的安全管理。 根据中研普华产业研究院发布的分析 门禁系统行业的产业链上下游结构 门禁系统的上游环节主要包括原材料供应商、设备制造商和技术提供商。这些供应商为门禁系统提供所需的原材料、硬件设备和技术支持。具体来说，原材料供应商提供门禁系统制造所需的基础材料，如金属、塑料等;设备制造商则负责生产门禁系统的核心设备，如门禁控制器、读卡器、电子门锁等;技术提供商则提供门禁系统所需的识别技术、通信技术等相关技术，如RFID技术、蓝牙技术等。 中游环节主要由门禁系统的生产商和集成商构成。生产商负责将上游的原材料和设备组装成完整的门禁系统，并根据市场需求进行产品的开发和生产。集成商则根据客户的需求，将门禁系统与其他安防设备进行集成，提供整体解决方案。这些中游企业通常具备强大的研发能力和技术实力，能够根据市场变化和客户需求进行定制化开发和生产。 下游环节主要包括门禁系统的销售和安装环节。销售环节涉及到门禁系统的市场推广、销售渠道建设等方面，目的是将门禁系统推向市场，满足客户需求。安装环节则涉及到门禁系统的安装、调试、维护等方面，确保门禁系统能够正常运行并为客户提供优质的服务。 预测2024年，中国智能门禁系统市场规模预计将达到236亿元，相较于2018年的123亿元，实现了显著的增长。这表明门禁系统行业正在迅速发展，市场规模持续扩大。 近年来，中国智能门禁系统的市场渗透率也在不断提高。从2018年的较低水平，逐渐提升到了较高的市场渗透率，显示出智能门禁系统在市场上的普及程度不断提高。 智能门禁系统的产销量也呈现出增长的态势。根据数据，智能门禁产销量已经突破了1300万套，连续两年保持了80%以上的增长幅度。这表明市场上对智能门禁系统的需求正在不断增长，推动了产销量的快速提升。 了解更多本行业研究分析详见中研普华产业研究院。同时, 中研普华产业研究院还提供产业大数据、产业研究报告、产业规划、园区规划、产业招商、产业图谱、智慧招商系统、IPO募投可研、IPO业务与技术撰写、IPO工作底稿咨询等解决方案。 关注公众号 免费获取更多报告节选 免费咨询行业专家 相关深度报告REPORTS 11106 2870 3670 4470 5335 6170 推荐阅读 ...
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