晶盛机电获得发明专利授权：“研磨盘倾角自调节方法、装置和晶圆减薄设备”

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2025月06月14日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“研磨盘倾角自调节方法、装置和晶圆减薄设备”，专利申请号为CN202510407524.0，授权日为2025年6月13日。

晶盛机电获得发明专利授权：“研磨盘倾角自调节方法、装置和晶圆减薄设备”
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专利摘要：本申请提供一种研磨盘倾角自调节方法、装置和晶圆减薄设备，涉及晶圆加工制造领域。该方法包括：获取影响待减薄晶圆减薄效果的第一变量和第二变量；将第一变量和第二变量输入预先训练的面形预测模型，得到待减薄晶圆的预测面形，预测面形至少包括待减薄晶圆经晶圆减薄设备减薄加工后的厚度变化；若待减薄晶圆的预测面形与设定的目标面形不一致，将待减薄晶圆的预测面形和目标面形输入倾角调节模型，得到研磨盘的目标倾角；将研磨盘的倾角由初始倾角调节至目标倾角，且由调整至目标倾角的晶圆减薄设备执行待减薄晶圆的减薄加工。该方法能够实现对研磨盘倾角的精确自动调节，提高晶圆减薄加工的精度和质量。

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今年以来晶盛机电新获得专利授权60个，较去年同期减少了18.92%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了11.19亿元，同比减2.29%。

数据来源：天眼查APP

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