中科飞测获得发明专利授权：“一种光学检测设备及其控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光学检测设备及其控制方法”，专利申请号为CN202510145886.7，授权日为2025年6月13日。

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专利摘要：本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种光学检测设备及其控制方法，光学检测设备包括：缺陷检测装置，缺陷检测装置包括大缺陷回避系统和照明系统，照明系统用于发出高功率照明光扫描样品，照明系统扫描至样品上的大缺陷时，大缺陷回避系统用于向照明系统发送关闭快门信号以关闭高功率照明光，以使样品上的大缺陷避开高功率照明光的扫描；空气净化装置，空气净化装置包括光机仓风场系统，光机仓风场系统包括向照明系统吹送第一吹扫气流的第一吹扫组件；其中，大缺陷回避系统发送关闭快门信号的同时还向第一吹扫组件发送第一吹扫信号，接收第一吹扫信号的第一吹扫组件增大第一吹扫气流的气压。本发明至少有利于提升光学检测设备的性能。

今年以来中科飞测新获得专利授权32个，较去年同期减少了47.54%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了4.98亿元，同比增118.17%。

数据来源：天眼查APP

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