华海清科获得发明专利授权：“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”

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2026月02月28日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”，专利申请号为CN202411208871.2，授权日为2026年2月27日。

华海清科获得发明专利授权：“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”
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专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质，其中方法包括：获取第一磨损参数和第一测量信号，其中，所述第一磨损参数用于指示抛光垫的当前厚度，所述第一测量信号由电涡流传感器采集，所述第一测量信号与所述晶圆上金属薄膜的厚度和所述抛光垫的厚度相关；根据所述第一磨损参数，确定目标映射信息，其中，所述目标映射信息用于指示在所述抛光垫的当前厚度下，所述电涡流传感器所采集的测量信号与所述金属薄膜的厚度之间的对应关系；根据所述第一测量信号和所述目标映射信息，确定所述金属薄膜的厚度。

今年以来华海清科新获得专利授权10个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目258次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息798条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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