华海清科获得发明专利授权：“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”

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2026月02月28日

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”，专利申请号为CN202411208871.2，授权日为2026年2月27日。

华海清科获得发明专利授权：“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”
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专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质，其中方法包括：获取第一磨损参数和第一测量信号，其中，所述第一磨损参数用于指示抛光垫的当前厚度，所述第一测量信号由电涡流传感器采集，所述第一测量信号与所述晶圆上金属薄膜的厚度和所述抛光垫的厚度相关；根据所述第一磨损参数，确定目标映射信息，其中，所述目标映射信息用于指示在所述抛光垫的当前厚度下，所述电涡流传感器所采集的测量信号与所述金属薄膜的厚度之间的对应关系；根据所述第一测量信号和所述目标映射信息，确定所述金属薄膜的厚度。

今年以来华海清科新获得专利授权10个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目258次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息798条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

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2024燃气轮机行业市场发展现状及供需格局分析_人保服务 ,人保护你周全

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2024燃气轮机行业市场发展现状及供需格局分析 2024年5月5日 来源：互联网 中国机械业协会 445 22 燃气轮机是以连续流动的气体为工质带动叶轮高速旋转，将燃料的能量转变为有用功的内燃式动力机械，是一种旋转叶轮式热力发动机。随着可再生能源的发展和对清洁能源的需求增加，燃气轮机市场将迎来新的发展机遇。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 在全球环保意识日益增强的背景下，燃气轮机作为一种低碳、清洁的发电方式，将受到更多政府和企业的青睐。随着环境管制政策的不断加强，对燃气轮机的需求将进一步增加。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 燃气轮机是以连续流动的气体为工质带动叶轮高速旋转，将燃料的能量转变为有用功的内燃式动力机械，是一种旋转叶轮式热力发动机。燃气轮机是一种以连续流动的气体作为工质、把热能转换为机械功的旋转式动力机械。在空气和燃气的主要流程中，只有压气机、燃烧室和燃气透平(这三大部件组成的燃气轮机循环，通称为简单循环。大多数燃气轮机均采用简单循环方案。因为它的结构最简单，而且最能体现出燃气轮机所特有的体积小、重量轻、起动快、少用或不用冷却水等一系列优点。图片来源于网络，如有侵权，请联系删除 燃气轮机是一种先进而复杂的成套动力机械装备，是典型的高新技术密集型产品。作为高科技的载体，燃气轮机代表了多理论学科和多工程领域发展的综合水平，是21世纪的先导技术。发展集新技术、新材料、新工艺于一身的燃气轮机产业，是国家高技术水平和科技实力的重要标志之一，具有十分突出的战略地位。燃气轮机由三大部件：压气机、燃烧室、涡轮组成，作为装备制造业的“皇冠上的明珠”，对能源安全和工业发展等方面具有重大的推动作用。当前轻型燃气轮机主要应用的四个领域中，中国动力公司的产品主要涉及舰船推进与管线动力两大方向。 燃气轮机在多个领域都有广泛应用，包括电力、工业、航空航天等。在电力行业，燃气轮机具有启动快、效率高、污染低等优点，逐渐取代了传统的火电厂和柴油发电机组。在工业领域，燃气轮机也发挥着重要作用，如应用于石油化工、钢铁制造等行业。此外，随着飞机制造技术的不断改进和需求的增加，航空燃气轮机市场也在快速发展。 全球燃气轮机市场规模在过去几年中呈现上涨趋势。根据相关数据，2021年全球燃气轮机市场规模达到了233.1十亿美元，同比2020年上涨3.42%。在2019到2021年中国燃气轮机需求量是上涨趋势，2021年中国燃气轮机需求量达到了789.6万千瓦时，较2020年增长了237.5万千瓦时。在中国，燃气轮机市场规模也在持续增长，2022年达到了616.69亿元。 图表：2019-2021年中国燃气轮机需求量情况 数据来源：中国机械业协会、中研普华产业研究院整理 据中国机械工业联合会发布的数据显示，电工电器行业的主要产品产量增速表现不一。其中，燃气轮机增速较快，为31.88%，产量同比增长达145.79%。不难看出，我国燃气轮机市场新一轮热潮即将来临。有望形成爆发式增长。国内燃气轮机市场的发展取决于两大因素，天然气供应的增长和天然气价格。由于"西气东输"、"西电东送"和沿海经济发达地区能源结构调整，以及分布式能源发展的需要，我国天然气供应量在不断上升。 根据中研普华产业研究院发布的《》显示： 目前燃气轮机市场主要由国外企业所垄断，如通用电气、西门子、三菱日联等大型跨国公司。这些公司凭借先进的技术、强大的研发实力和完善的服务体系，在市场竞争中占据主导地位。然而，一些新兴企业也在不断涌现，加剧了市场竞争。为了在市场中取得竞争优势，各企业不断创新技术、提高产品质量和服务水平，以满足用户需求。 燃气轮机可以取代运行在煤炭或石油上的热力设施的旧技术，是因为天然气的碳密度低于其他传统燃料类型，所以政府都希望减少碳足迹，这在一定程度上刺激了燃气轮机市场的增长。因此预测未来中国燃气轮机市场规模将保持增长，预计到2026年的中国燃气轮机市场的规模会达到2051.3亿元。 随着可再生能源的发展和对清洁能源的需求增加，燃气轮机市场将迎来新的发展机遇。燃气轮机作为一种高效清洁的能源转换装备，在发电、冶金、石化、造船等行业具有广泛应用前景。同时，随着技术的不断进步和市场的不断扩大，燃气轮机行业也将迎来更多的发展机遇和挑战。 总的来说，燃气轮机行业市场具有广阔的发展前景和潜力，但也面临一些技术挑战和壁垒。企业需要加强技术研发和创新，提高产品质量和服务水平，以适应市场的需求和竞争的变化。同时，政府也需要加大支持力度，推动燃气轮机行业的健康发展。 中研普华通过对市场海量的数据进行采集、整理、加工、分析、传递，为客户提供一揽子信息解决方案和咨询服...

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