中科飞测获得发明专利授权:“控制方法和检测装置”

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2025月03月11日
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“控制方法和检测装置”,专利申请号为CN202110325990.6,授权日为2025年3月11日。
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专利摘要:本发明公开了一种控制方法和检测装置,检测装置包括腔体、移动组件、承载组件和至少两个测距传感器,腔体形成有腔室,移动组件位于腔室内,承载组件连接移动组件,移动组件用于驱动承载组件移动,承载组件包括吸盘,至少两个测距传感器安装在吸盘的预设位置,控制方法包括:通过至少两个测距传感器检测吸盘和腔室内壁之间形成的第一距离;在第一距离小于预设距离的情况下,获取吸盘的移动速度;根据吸盘的移动速度,确定对吸盘进行调节的调节速率;根据调节速率对吸盘进行调节。上述控制方法可降低吸盘和其吸附的晶圆受到损坏的风险。
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今年以来中科飞测新获得专利授权10个,较去年同期减少了56.52%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.07亿元,同比增114.22%。
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数据来源:天眼查APP
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