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芯源微――争当辽沈集成电路装备产业“开路先锋”

芯源微――争当辽沈集成电路装备产业“开路先锋”

(原标题:芯源微――争当辽沈集成电路装备产业“开路先锋”)图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 芯源微已经成为国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 光刻工序是集成电路制造的重中之重,占据产线上50%的时间和30%的成本。它也是整条芯片产线上国产设备替代率最低的工艺环节――前道光刻机国产替代率不足3%,而产线上唯一与其联机作业的前道涂胶显影设备,长期被日本企业高度垄断,国产替代率不足10%。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 涂胶显影机与光刻机、光刻胶被称为光刻工序的三大要素。芯源微立足自主研发,深度耕耘,已经成为国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业。 “芯源微是沈阳IC装备产业联盟的先锋。2002年芯源微创立时,国内半导体市场还没有形成,没有产品、没有供应链,最重要的是没有市场、没有客户。”芯源微创始人、荣誉董事长宗润福表示。芯源微立足自主研发,顽强地活了下来,从4寸、6寸做到8寸、12寸,从LED做到后道先进封装、做到前道领域。2019年芯源微在上交所科创板成功上市,是“辽宁省科创板第一股”,目前已经发展成为国内涂胶显影细分领域龙头企业。 芯源微在国产替代的道路上披荆斩棘,克服了重重艰难险阻: 一是涂胶显影设备本身的高度复杂性。从设备结构看,最先进的涂胶显影机有超过150个单元,10余个机械手,每小时进行上万次机电动作。从工艺难度看,涂胶就像在足球场上铺地板,高低差要控制在一根头发丝以内。 二是涂胶显影机要与芯片产线上最昂贵、最重要的光刻机联机作业。宗润福表示:“联机验证难,更重要的是决不能拖累光刻机,我们必须对产品的产能、良率和可靠性有高要求。” 三是日系设备起步早、积累深厚,对国内市场形成高度垄断,垄断率超过90%。随着研发进程持续推进,产品迭代突破,芯源微将进一步推进国产替代进程。 国产替代率低意味着发展空间极大。芯源微的前道设备已经覆盖了28纳米以上所有工艺节点,覆盖了中国半导体90%以上的成熟工艺。其中,前道物理清洗设备已经达到国际先进水平,成功实现国产替代,国内市占率第一;前道化学清洗设备聚焦先进制程,瞄准国外长期垄断环节,芯源微已成为国内首个通过高温硫酸清洗工艺验证并获得重复订单的企业。在后道先进封装领域,芯源微作为成套工艺设备提供商,产品市占率超过50%,成为客户端主力量产设备商,同时持续布局2.5D、3D封装等新兴领域,发展新增长点。 在谈到为什么“六小虎”能在沈阳发展壮大时,宗润福表示:“辽沈的装备制造业有产业基础和配套优势,沈阳的人才既稳定,又具备工匠精神、研发精神。在省市区各级政府的有机组织与持续支持下,沈阳零部件与半导体装备在全国范围内都具备一定影响力。” 芯源微立足辽沈,坚定自主研发,研发费用连续多年保持在营业收入的10%以上。2024年,其研发投入达2.97亿元,同比增加近50%。技术上的研发突破,即将批量转化为市场上的累累硕果。 责编:李丹 校对:冉燕青...
拓荆科技――踏遍荆棘冲破国际巨头垄断

拓荆科技――踏遍荆棘冲破国际巨头垄断

(原标题:拓荆科技――踏遍荆棘冲破国际巨头垄断)图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 拓荆科技的出现,拓出了一条令人瞩目的国产化之路。 在高端半导体制造中,薄膜沉积设备、光刻设备、刻蚀设备共同构成了芯片制造三大核心设备。其中,薄膜沉积设备常年占据晶圆制造设备市场五分之一以上的市场份额,但该行业呈现垄断竞争的局面,市场长期由国际巨头把持。 拓荆科技的出现,在国际巨头垄断、荆棘密布的薄膜沉积设备市场上,拓出了一条令人瞩目的国产化之路。拓荆科技董事长吕光泉表示,2024年中国大陆薄膜沉积设备市场推算约为97亿美元,其中公司覆盖的产品市场规模约48.5亿美元,而公司对应产品收入41亿元,市场份额占比约12%。 目前,拓荆科技主要从事PECVD(等离子体增强化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)、Gap Fill(沟槽填充)等薄膜沉积设备的研发和产业化应用,可以支撑逻辑芯片、存储芯片中所需的全部介质薄膜材料约100多种工艺应用。吕光泉认为,拓荆科技的市场份额依然有较大提升空间。 不可否认,在薄膜沉积设备领域,中外差距依然存在。吕光泉表示,在先进技术方面,国产厂商相较海外龙头而言,起步虽然相对较晚,面临国际设备厂商的竞争和挑战,国产厂商通过自主创新不断实现技术突破,展示出强劲的潜力。 从工艺覆盖度、量产设备性能指标来看,中国企业正迎头赶上。吕光泉表示:“从技术水平来看,近年来中国大陆半导体产业发展迅速,以公司为代表的厂商在薄膜沉积设备领域实现持续突破和快速发展,工艺覆盖度不断提高,已量产设备性能指标可达到国际同类设备先进水平。” 这背后,是以拓荆科技为代表的企业持续进行技术攻关,啃下一个个“硬骨头”。拓荆科技先后承担了11项国家重大专项或课题。截至2024年12月底,公司累计申请专利1640项(含PCT),获得授权专利507项。通过自主研发,公司已形成一系列独创性的设计,在半导体薄膜沉积设备领域积累了多项研发及产业化的核心技术。 面向未来,当“后摩尔时代”芯片制程持续缩小接近物理极限,更高的性能芯片就要通过新的芯片设计架构和芯片堆叠方式来实现,由此催生了三维集成领域的半导体设备新需求。三维集成领域的产品有望成为拓荆科技业绩增长“新引擎”。目前,拓荆科技晶圆对晶圆混合键合设备等已经获得重复订单并扩大产业化应用,芯片对晶圆混合键合设备也实现出货,同时,开发的配套检测设备已实现了产业化应用。 “我们正提前布局往后两代、三代产品的技术,现在公司70%的产品都是新工艺、先进工艺所需要的。”吕光泉表示。 责编:李丹 校对:冉燕青...
中科仪――深耕近70年 实现国内干式真空泵多项零的突破

中科仪――深耕近70年 实现国内干式真空泵多项零的突破

(原标题:中科仪――深耕近70年 实现国内干式真空泵多项零的突破)图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 中科仪干式真空泵已实现集成电路产业核心部件国产化多项零的突破。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 在半导体制造这个“纳米级微观手术”中,干式真空泵扮演着至关重要的角色。干式真空泵能快速、干净地把芯片加工腔室里的空气和各种气体“抽走”,为芯片制造提供工艺所必需的洁净真空环境,完成薄膜沉积、刻蚀、离子注入、光刻等超微加工。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 在新三板挂牌的中科仪,依托高真空、超高真空和超洁净真空技术优势,攻克了一系列产业共性、关键技术难题,致力于研制开发先进的干式真空泵、真空仪器设备,产品均达到国际同类产品先进水平,填补了国内同类产品空白。 据了解,中科仪创建于1958年,其前身是中国科学院直属事业单位,是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商,主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务。中科仪作为我国真空技术领域的领军企业,组建了国家真空仪器装置工程技术研究中心、真空技术装备国家工程实验室及国家企业技术中心,是国家级高新技术企业。 目前,中科仪干式真空泵已在国内多家知名集成电路和光伏巨头企业通过工艺验证并批量使用,打破了欧美及日韩企业对同类产品的长期垄断地位,实现集成电路产业核心部件国产化多项零的突破。 责编:李丹 校对:冉燕青...
艾罗能源获得发明专利授权:“户用光伏储能系统能源调度方法及相关设备”

艾罗能源获得发明专利授权:“户用光伏储能系统能源调度方法及相关设备”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示艾罗能源(688717)新获得一项发明专利授权,专利名为“户用光伏储能系统能源调度方法及相关设备”,专利申请号为CN202411652209.6,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本发明公开了一种户用光伏储能系统能源调度方法及相关设备,方法包括:基于天气数据及历史光伏数据,利用预先基于卷积神经网络与长短时记忆网络构建的光伏预测模型获取光伏发电功率;基于天气数据及历史负载数据,利用预先基于卷积神经网络与长短期记忆网络构建的负载预测模型获取负载需求功率;创建策略矩阵,根据策略矩阵、光伏发电功率及负载需求功率进行功率分配模拟并通过粒子群算法对模拟结果进行迭代优化,得到最优功率分配结果。本申请能够解决现有技术中能源管理系统的能源调度策略单一而导致能源调度的准确性低、用户收益低的问题。 今年以来艾罗能源新获得专利授权96个,较去年同期增加了104.26%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.81亿元,同比增75%。 通过天眼查大数据分析,浙江艾罗网络能源技术股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目53次;财产线索方面有商标信息37条,专利信息521条,著作权信息103条;此外企业还拥有行政许可20个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。...
华帝股份获得发明专利授权:“一种油网可翻转的吸油烟机”

华帝股份获得发明专利授权:“一种油网可翻转的吸油烟机”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华帝股份(002035)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种油网可翻转的吸油烟机”,专利申请号为CN201911379469.X,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本发明提供一种油网可翻转的的吸油烟机,包括油网、导流板、丝杆电机组件、滑动组件和烟机本体,油网的上端与滑动组件活动连接,下端与导流板的前端活动连接,导流板的后端与烟机本体底部后边活动连接,丝杆电机组件与滑动组件均固定在烟机本体的前壁上,丝杆电机组件与油网上端连接;丝杆电机组件驱动油网沿着滑动组件下翻,并带动导流板一起下翻。本发明使油网下探,油网下方的负压区下移,使油网和导流板组成的集烟腔更靠近灶台,灶台产生的油烟第一时间被吸油烟机吸走,避免了油烟在上升过程中的扩散,达到更好的拢烟效果。 今年以来华帝股份新获得专利授权472个,较去年同期增加了15.12%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.63亿元,同比增6.14%。 通过天眼查大数据分析,华帝股份有限公司共对外投资了19家企业,参与招投标项目381次;财产线索方面有商标信息904条,专利信息8516条,著作权信息151条;此外企业还拥有行政许可84个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。...
格力电器获得发明专利授权:“清洗装置及具有其的空调室内机”

格力电器获得发明专利授权:“清洗装置及具有其的空调室内机”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示格力电器(000651)新获得一项发明专利授权,专利名为“清洗装置及具有其的空调室内机”,专利申请号为CN201911358904.0,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本发明提供了一种清洗装置及具有其的空调室内机。其中,清洗装置对空调室内机的风叶和/或蜗壳进行清洗,清洗装置包括:清洗部,清洗部用于向风叶和/或蜗壳喷射液体或气体;第一驱动组件,第一驱动组件与清洗部连接,以驱动清洗部绕第一枢转轴转动;第二驱动组件,第二驱动组件与清洗部连接,以驱动清洗部绕第二枢转轴转动;其中,第一枢转轴与第二枢转轴呈第一夹角设置。本发明有效地解决了现有技术中对于空调室内机的清洁不到位而影响用户使用体验的问题。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 今年以来格力电器新获得专利授权3071个,较去年同期减少了6.43%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了69.04亿元,同比增2.1%。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 通过天眼查大数据分析,珠海格力电器股份有限公司共对外投资了100家企业,参与招投标项目26607次;财产线索方面有商标信息8132条,专利信息115519条,著作权信息297条;此外企业还拥有行政许可828个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。...
京东方A获得发明专利授权:“一种GOA单元、电路及其驱动方法、显示装置”

京东方A获得发明专利授权:“一种GOA单元、电路及其驱动方法、显示装置”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示京东方A(000725)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种GOA单元、电路及其驱动方法、显示装置”,专利申请号为CN202310134765.3,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本申请公开了一种GOA单元、电路及其驱动方法、显示装置,包括第一电容器以及多个模块,所述多个模块包括上拉模块、第一复位模块、输出模块、反相模块、下拉驱动模块、降噪模块,其中,所述降噪模块连接所述下拉节点、降噪输入端、上拉节点,用于在所述下拉节点的控制下将所述降噪输入端的电压输入至所述上拉节点。通过在上拉节点增加降噪模块使得在充电阶段,下拉节点不进行竞争,转而促进上拉节点充电,提高上拉节点充电效果;在复位阶段,还可以通过降噪模块实现对上拉节点的辅助放电,提高上拉节点放电效果,进而大幅提升GOA长期稳定性,进而提高显示效果。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 今年以来京东方A新获得专利授权1883个,较去年同期减少了0.69%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了131.23亿元,同比增15.94%。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 通过天眼查大数据分析,京东方科技集团股份有限公司共对外投资了71家企业,参与招投标项目249次;财产线索方面有商标信息1039条,专利信息63764条,著作权信息732条;此外企业还拥有行政许可46个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。 ...
安恒信息获得发明专利授权:“数据库语句处理方法、装置、系统、电子装置和存储介质”

安恒信息获得发明专利授权:“数据库语句处理方法、装置、系统、电子装置和存储介质”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示安恒信息(688023)新获得一项发明专利授权,专利名为“数据库语句处理方法、装置、系统、电子装置和存储介质”,专利申请号为CN202210586846.2,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本申请涉及一种数据库语句处理方法、装置、系统、电子装置和存储介质,其中,该数据库语句处理方法包括:获取至少包括子语句的待处理树形结构语句;获取历史子语句,将该子语句与该历史子语句进行相似性检测,得到语句相似性结果;根据该语句相似性结果提取该子语句中的语句元素,并根据该语句元素获取数据标签;根据该语句相似性结果和该数据标签,对该树形结构进行处理,得到目标树形结构语句。通过本申请,解决了SQL语句重复性高、维护难度大和错误率大的问题,提升了数据库SQL语句的可读性与可维护性。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 今年以来安恒信息新获得专利授权66个,较去年同期减少了52.86%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.93亿元,同比减22.61%。 通过天眼查大数据分析,杭州安恒信息技术股份有限公司共对外投资了114家企业,参与招投标项目7177次;财产线索方面有商标信息328条,专利信息2441条,著作权信息310条;此外企业还拥有行政许可262个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。...
水晶光电获得发明专利授权:“光栅波导出瞳扩展器及增强现实显示模组”

水晶光电获得发明专利授权:“光栅波导出瞳扩展器及增强现实显示模组”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示水晶光电(002273)新获得一项发明专利授权,专利名为“光栅波导出瞳扩展器及增强现实显示模组”,专利申请号为CN202010122118.7,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本发明提供了一种光栅波导出瞳扩展器及增强现实显示模组,涉及增强现实显示模组技术领域,所述光栅波导出瞳扩展器包括波导平板,波导平板包括相对的第一板面和第二板面,第一板面上设置有耦入光栅和耦出光栅,且耦入光栅和耦出光栅间隔设置;波导平板上还设置有光反射结构,光反射结构具有反射层,反射层分别与第一板面、第二板面连接,反射层用于将射向耦入光栅方向的衍射光反射向耦出光栅方向。光在光栅波导出瞳扩展器内传播时会发生衍射现象,部分衍射光光会朝耦入光栅方向运动,逐渐远离耦出光栅,而光反射结构能够将这部分衍射光朝耦出光栅方向反射,从而再次利用,避免光能量的浪费,最终人眼视网膜接收到的光能量更多,亮度更高。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 今年以来水晶光电新获得专利授权13个,较去年同期减少了27.78%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了4.08亿元,同比减3.8%。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 通过天眼查大数据分析,浙江水晶光电科技股份有限公司共对外投资了30家企业,参与招投标项目57次;财产线索方面有商标信息54条,专利信息517条,著作权信息116条;此外企业还拥有行政许可35个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。...
微导纳米获得发明专利授权:“喷淋板及处理装置”

微导纳米获得发明专利授权:“喷淋板及处理装置”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项发明专利授权,专利名为“喷淋板及处理装置”,专利申请号为CN202211612666.3,授权日为2025年6月24日。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 专利摘要:本发明涉及一种喷淋板及处理装置,喷淋板包括板体,板体内形成有气体分配系统。气体分配系统包括主进气通道、过渡通道及喷淋通道。工艺气体先由主进气通道进入板体的内部,再经过过渡通道中转后进入喷淋通道,最终由喷淋孔从出气面导入处理腔体内。过渡通道能够起到缓冲作用,避免喷淋通道内的气压直接受到主进气通道内气压波动的影响,故喷淋通道内的气压能够保持较好的一致性。因此,经过过渡通道中转后,从出气面的各区域喷出的气流量也更均衡,从而能够提升工艺气体在处理腔体内分布的均匀性。此外,本发明还提供一种喷淋方法。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 今年以来微导纳米新获得专利授权37个,较去年同期增加了23.33%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.67亿元,同比增50.78%。图片来源于网络,如有侵权,请联系删除 通过天眼查大数据分析,江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目46次;财产线索方面有商标信息112条,专利信息507条,著作权信息20条;此外企业还拥有行政许可68个。 数据来源:天眼查APP 以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。...
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