晶合集成获得发明专利授权：“一种研磨方法、装置和控制系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种研磨方法、装置和控制系统”，专利申请号为CN202510717305.2，授权日为2025年9月2日。

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专利摘要：本发明提供了一种研磨方法、装置和控制系统，该方法包括：获取目标研磨头已研磨的多个晶圆的实际研磨量和实际研磨时间；对多个晶圆的实际研磨量和实际研磨时间进行拟合；获取准备使用目标研磨头进行研磨的待研磨晶圆的预设研磨量和预设研磨速率R1；将预设研磨量输入拟合公式中，得到预测研磨时间；将预设研磨量除以预测研磨时间，得到预测研磨速率R2；计算待研磨晶圆对应的实际研磨速率R3；计算待研磨晶圆对应的实际研磨时间T；使用目标研磨头、以预设研磨速率R1和实际研磨时间T对待研磨晶圆进行研磨。本方案可以实时改善目标研磨头对待研磨晶圆的研磨效果。

今年以来晶合集成新获得专利授权254个，较去年同期增加了15.98%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元，同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目630次；财产线索方面有商标信息52条，专利信息1225条，著作权信息7条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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